La fuente de emisión de campo frío es ideal para obtener imágenes de alta resolución con un tamaño de fuente y una dispersión de energía reducidos. La innovadora tecnología del cañón CFE aporta lo último en FE-SEM con un brillo y una estabilidad del haz superiores, lo que permite obtener imágenes de alta resolución y análisis elementales de alta calidad. El exclusivo diseño de la lente del objeto también permite realizar EELS y difracción.
Visión general
El SU9000 es el nuevo SEM premium de HITACHI. Presenta una óptica de electrones única, con la muestra colocada dentro de un hueco entre las partes superior e inferior de la pieza polar de la lente objetivo. Este concepto, denominado "true in-lens", combinado con la nueva generación de tecnología de emisión de campo frío de HITACHI, garantiza la máxima resolución del sistema (resolución SE de 0,4 nm a 30 kV, 1,2 nm a 1 kV sin necesidad de tecnología de desaceleración del haz [0,8 nm con desaceleración del haz]) y estabilidad.
Para hacer que este poder de resolución sea utilizable en aplicaciones prácticas en su laboratorio, el SU9000 utiliza una platina de muestra de entrada lateral ultraestable similar a los sistemas TEM de gama alta e incorpora una amortiguación de vibraciones optimizada y una cabina cerrada para proteger la óptica electrónica del ruido ambiental. Además, el concepto de vacío limpio del SU9000 ofrece un nivel de vacío en el cañón y en la cámara de muestras que es un orden de magnitud mejor que el de la generación anterior, minimizando así los artefactos de contaminación de las muestras (puede conseguirse una limpieza eficaz de las propias muestras antes de la observación utilizando el limpiador de muestras ZONESEM de Hitachi).
Además de una resolución pura e insuperable, el SU9000 también está equipado con un extraordinario sistema de detección 2+2 para observaciones de la superficie, la composición y la transmisión de la muestra.
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