Elipsómetro espectroscópico Auto SE
para la investigación

elipsómetro espectroscópico
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Características

Tipo
espectroscópico
Aplicaciones
para la investigación

Descripción

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de películas finas que permite el análisis totalmente automático de muestras de películas finas con un sencillo funcionamiento mediante pulsador. El análisis de la muestra sólo tarda unos segundos y proporciona un informe completo que describe por completo la pila de película fina, incluidos los espesores de película, las constantes ópticas, la rugosidad de la superficie y las inhomogeneidades de la película. El Auto SE es un instrumento muy completo que incluye una platina XYZ automática, imágenes en tiempo real del lugar de medición y selección automática del tamaño del punto. Dispone de numerosos accesorios para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones. El Auto SE incluye indicadores de diagnóstico integrados para la detección y el diagnóstico automáticos de problemas, con una completa guía para el operador para la resolución de problemas. El Auto SE destaca por su facilidad de uso y sus numerosas funciones automáticas, que lo convierten en un instrumento llave en mano ideal para la medición rutinaria de películas finas y el control de calidad de dispositivos. CARACTERÍSTICAS Análisis de películas finas más fácil con rutinas automáticas Sistema de altas prestaciones Visión de la muestra Micropuntos de hasta 25x60 µm Amplia gama de accesorios APLICACIONES Gama espectral 440-1000 nm Tamaños de punto: selección automática 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm Detección: CCD - Resolución: 2 nm platina de muestra: mandriles de vacío, altura z 40 mm Visualización de la muestra: Cámara CCD - Campo de visión 1.33x1 mm - Resolución: 10µm Goniómetro: Fijo a 70° - Posible ajuste a 66° y 61,5 Numerosos accesorios Tiempo de medición: <2s, típico 5s Precisión: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002 Repetibilidad: NIST 15nm ± 0,2 Å

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