Elipsómetro espectroscópico Smart SE

elipsómetro espectroscópico
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Características

Tipo
espectroscópico

Descripción

El Smart SE de HORIBA Scientific es un elipsómetro espectroscópico versátil para mediciones rápidas y precisas de películas delgadas. Caracteriza el espesor de películas finas desde unos pocos Angstroms hasta 20µm, constantes ópticas (n,k), y propiedades de la estructura de películas finas (tales como rugosidad, capas ópticas graduadas y anisotrópicas, etc). El rango espectral de 450 a 1000 nm se mide en pocos segundos y los datos elipsométricos se analizan mediante la plataforma de software DeltaPsi2. El programa integra dos niveles de software para realizar tanto análisis rutinarios con recetas predefinidas como análisis avanzados con modelización elipsométrica de última generación. El elipsómetro Smart SE es una herramienta rentable de I+D para películas finas que no compromete sus prestaciones y ofrece un rendimiento de nivel de investigación a un precio económico. Dispone de un sistema de visión integrado para un posicionamiento preciso de los puntos, siete micropuntos automatizados con tamaños de hasta unas decenas de micras para la medición de características pequeñas y la capacidad de medir la matriz Mueller completa de 16 elementos en tan solo unos segundos para el estudio de muestras complejas. El diseño flexible del Smart SE permite la automatización completa de la platina de muestras y el goniómetro, así como el uso in situ en cámaras de proceso. Se adapta a cualquier aplicación o presupuesto para una amplia variedad de áreas de aplicación, como microelectrónica, fotovoltaica, pantallas, revestimientos ópticos, tratamientos superficiales y compuestos orgánicos. CARACTERÍSTICAS Rápido y preciso Fácilmente actualizable Visualización de su muestra puntual Configuraciones estándar Gama de espectros: - 450 nm a 1000 nm Resolución espectral: mejor que 3 nm Fuente de luz - Combinación de halógeno y LED azul Tiempo de medición: de <1 a 10 segundos

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