sistema de metrología de superficie / de alta velocidad
MicroGlider® 600

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Características

  • Magnitud física:

    de superficie

  • Opciones y accesorios:

    de alta velocidad

Descripción

Las estructuras funcionales y las superficies y los componentes en los cuales se aplican están conforme a tolerancias de fabricación cada vez más altas. Además, algunos tamaños componentes tales como obleas están aumentando.
El MicroGlider® es un multidetector capaz midiendo la herramienta que satisface requisitos de la superficie y del tamaño. Con una estructura muy estable del pórtico y una etapa x-y grande del transporte de aire, los componentes grandes se pueden medir fácilmente para la llanura y otros parámetros superficiales críticos con exactitud del nanómetro.

MicroGlider® 600 ofrece:

maneja muestras pesadas hasta 50 kilogramos con exactitud corriente excelente
alta exactitud de la medida con el nivel de ruidos perceptiblemente reducido debido a las impulsiones sin contacto del motor linear y a la etapa sofisticada del transporte de aire
especialmente conveniente para las medidas rápidas, de alta resolución de la llanura de superficies grandes como los substratos de cristal para los semiconductores, MEMS e industrias solares
dependiendo del número de puntos de la medida, el FRT MicroGlider® determina parámetros de la llanura y de la superficie de la área extensa mucho más rápidamente y más exactamente que el interferómetro paso a paso convencional de los métodos e.g
automatización - el sistema se puede instalar en procesos de producción existentes, por ejemplo: integración como
una solución automatizada del uno-botón
alta velocidad de la medida, máximo 300 milímetros/sec

Traducción automática  (ver el original en inglés)