El vaporizador Turbo II™ 2855PE de MSP está diseñado para aplicaciones microelectrónicas de alta precisión que requieren caudales de vapor de medios a altos. Basado en los vaporizadores Turbo™ de MSP, probados en campo, altamente fiables y de bajo mantenimiento, el nuevo 2855PE ofrece el doble de producción de vapor en la mitad de tamaño.
Detalles del producto
Dimensiones (Al x An x Fo) - 236 mm x 84 mm x 142 mm (9,3'' x 3,3'' x 5,6'')
Peso - 5,2 kg (11,5 lb)
Accesorios (en la unidad) -
Entrada de gas portador - 1/4 pulg. VCR tuerca partida hembra
Entrada de líquido - 1/8 pulg. VCR hembra
Salida de vapor - 1/4 pulg. VCR hembra
Aire comprimido - racor instantáneo de 4 mm
Piezas húmedas - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Níquel, PCTFE
Integridad de fuga - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Helio
Requisitos de potencia del calentador1 - 208 VCA, 60 Hz, 900 W
Gas portador - Se recomienda gas inerte
Flujo máximo de gas portador1 - 10 litros estándar/min N2 @ 50 psig
Caudal máximo de líquido2 - 40 g/min (TEOS o equivalente)
Límite de presión del sistema - 150 psig
Aire comprimido - 90 a 110 psig
Rango de temperatura3 - 40°C a 200°C
Sensor de temperatura - 2 termopares tipo K
Accesorios - Cable de alimentación incluido (3 m). AMP CPC, conector de 4 pines con 3 cables voladores en el extremo opuesto
Especificaciones sujetas a cambios sin previo aviso.
1 El caudal máximo del portador, la potencia del calentador (W) y la tensión de línea son ajustables en fábrica; visite www.tsi.com/contact para solicitar más información.
2 El caudal máximo de líquido depende del proceso. Las especificaciones suponen una temperatura del vaporizador de 200°C, un caudal máximo de gas portador y una presión <50 Torr inmediatamente después del vaporizador.
3 Se requiere una ventilación adecuada.
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