El vaporizador Turbo II™ 2852PE de MSP está diseñado para aplicaciones microelectrónicas de alta precisión que requieren caudales de vapor de bajos a medios. Basado en los vaporizadores MSP Turbo™ probados en campo, altamente fiables y de bajo mantenimiento, el nuevo 2852PE proporciona concentraciones de vapor estables manteniendo un tamaño muy reducido. El 2852PE también cuenta con una válvula de control de flujo integrada para una respuesta de caudal extremadamente rápida.
Detalles del producto
Dimensiones (Al x An x Fo) - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7,8'' x 3,3'' x 4,5'')
Peso - 2,5 kg (5,6 lb)
Accesorios (en la unidad) -
Entrada de gas portador - 1/4 pulg. VCR hembra tuerca partida
Entrada de líquido - 1/8 pulg. VCR hembra
Salida de vapor - 1/4 pulg. VCR hembra tuerca partida
Aire comprimido - racor instantáneo de 4 mm
Piezas húmedas - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Níquel
Integridad de fuga - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Helio
Requisitos de potencia del calentador1 - 208 VCA, 60 Hz, 450 W
Gas portador - Se recomienda gas inerte
Flujo máximo de gas portador1 - 2,0 litros estándar/min N2 @ 50 psig
Caudal máximo de líquido2 - 7 g/min (TEOS o equivalente)
Límite de presión del sistema - 150 psig
Aire comprimido - 90 a 110 psig
Rango de temperatura3 - 40°C a 180°C
Sensor de temperatura - 2 termopares tipo Ƙ
Accesorios - Cable de alimentación incluido (3 m). AMP CPC, conector de 4 pines con 3 cables voladores en el extremo opuesto
Especificaciones sujetas a cambios sin previo aviso.
1 El caudal máximo del portador, la potencia del calentador (W) y la tensión de línea son ajustables en fábrica; visite www.tsi.com/contact para solicitar más información.
2 El caudal máximo de líquido depende del proceso. Las especificaciones suponen una temperatura del vaporizador de 180°C, un caudal máximo de gas portador y una presión <50 Torr inmediatamente después del vaporizador.
3 Se requiere una ventilación adecuada.
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