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Sistema de producción PlasmaPro 100 ICPCVD

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Descripción

Este módulo de proceso ICPCVD está diseñado para producir películas de alta calidad a bajas temperaturas de crecimiento, gracias a plasmas remotos de alta densidad que consiguen una calidad de película superior con un bajo daño del sustrato. Excelente uniformidad, alto rendimiento y procesos de alta precisión Películas de alta calidad Electrodo de amplio rango de temperaturas Compatible con todos los tamaños de oblea de hasta 200 mm Cambio rápido entre tamaños de oblea Bajo coste de propiedad y facilidad de mantenimiento Diseño compacto y flexible Electrodos calentados por resistencia con capacidad de hasta 400°C o 1200°C Limpieza in situ de la cámara y punto final Módulo flexible de suministro de vapor que permite la deposición de películas utilizando precursores líquidos, por ejemplo, TiO2 utilizando TTIP, SiO2 utilizando TEOS Aplicaciones Películas de excelente calidad y bajo daño a temperaturas reducidas. Los materiales típicos depositados incluyen SiO2, Si3N4 y SiON, Si y SiC a temperaturas de sustrato tan bajas como 5ºC Tamaños de fuente ICP de 65 mm, 180 mm y 300 mm que proporcionan uniformidad de proceso hasta obleas de 200 mm Electrodos disponibles para rangos de temperatura de 5ºC a 400ºC Tecnología patentada de distribución de gas ICPCVD Limpieza de la cámara in situ con endpointing Módulo flexible de suministro de vapor que permite la deposición de películas utilizando precursores líquidos, por ejemplo, TiO2 utilizando TTIP, SiO2 utilizando TEOS El calentamiento de la pared reduce la deposición en la pared de la cámara La refrigeración trasera por helio con sujeción mecánica garantiza la uniformidad de la temperatura de las obleas y la optimización de las propiedades de las películas Asistencia mundial al cliente Oxford Instruments se compromete a proporcionar un servicio global de atención al cliente completo, flexible y fiable. Ofrecemos un servicio de excelente calidad durante toda la vida útil de su sistema.

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.