El RX2200 es un regulador de presión de membrana para aplicaciones HP y UHP. Su diseño sin muelles y sin rosca mantiene el máximo nivel de pureza del gas.
Principales ventajas
funcionamiento al 100% y prueba de fugas de helio realizada
Diafragma de Hastelloy
Sin resortes ni roscas internas para los requisitos más exigentes de UHP
Montaje, pruebas y embalaje en sala limpia: Clase ISO 4
Número de serie individual para una total trazabilidad
Opción interna resistente a la corrosión Obturador de Hastelloy
Rugosidad superficial electropulida según el grado UHP de SEMI F19
Opción de recubrimiento de las zonas húmedas disponible
opción de doble fusión de acero inoxidable 316L VAR® según SEMI F20
Material del asiento específico para el fluido como opción estándar
Opciones adicionales de puertos múltiples
Especificaciones
Presión máxima de entrada 240 bar
Presión de salida 3/8/10/15/25/50 bar
Rango de temperatura -20°C a +65°C
Capacidad de flujo (cv) 0,2
Presión de rotura* - 300% de la presión de funcionamiento
Presión de prueba* - 150% de la presión de funcionamiento
Efecto de la presión de suministro i* 1,35 bar / 100 bar
Tasa de fuga máxima certificada de helio hacia el exterior ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Tasa de fuga de helio máxima certificada a través del asiento (a la presión máxima) - ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s
Tasa de fuga máxima certificada de helio en el interior (a la presión máxima) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
---