Los sistemas de inspección de obleas semiconductoras, que no pueden tolerar ni siquiera una contaminación o defecto muy diminutos, también disponen de diversas medidas para los sistemas ópticos.
Debido a que nuestro motor lineal logró arrojar luz sólo en lugares especificados, y la estructura de obturación para el filtro de apertura para evitar la luz ambiental, nuestros motores lineales se aplican a esta aplicación.
Debido a que nuestro motor lineal con diseño compacto permite instalar múltiples ejes en un espacio pequeño, se hizo posible centrarse en tamaños y figuras en una amplia variedad. Y también, debido a que es posible el movimiento de alta velocidad por accionamiento directo, es adecuado para la línea de fabricación de semiconductores que requiere un alto rendimiento.
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