Sensor de temperatura AWM40000

de caudalde gaspara el sector médico

Compensado o no compensado. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Salida analógica. Funcionamiento El caudalímetro de masa micropuente funciona según la teoría de la transferencia de calor. El flujo de masa de aire se dirige a través de la superficie de los elementos sensores. La tensión de salida varía en proporción al flujo másico de aire u otro gas a través de los puertos de entrada y salida del paquete. La carcasa especialmente diseñada dirige y controla con precisión el flujo de aire a través del elemento sensor de microestructura. El diseño mecánico del paquete permite montarlo fácilmente en placas de circuitos impresos. El sensor de masa de aire microbridge tiene un chip de silicio único basado en tecnología avanzada de microestructura. Consiste en una estructura de puente de película fina aislada térmicamente que contiene elementos sensores de temperatura y calentadores. La estructura de puente proporciona una respuesta sensible y rápida al flujo de aire u otro gas sobre el chip. Los elementos sensores dobles situados a ambos lados de un elemento calefactor central indican la dirección y el caudal del flujo. Las resistencias de película gruesa y fina recortadas con láser permiten un intercambio constante de un dispositivo a otro. El sensor de masa de aire microbridge utiliza resistencias sensibles a la temperatura depositadas dentro de una fina película de nitruro de silicio. Están suspendidas en forma de dos puentes sobre una cavidad grabada en el silicio. El chip está situado en un canal de flujo de aire de dimensiones precisas para proporcionar una respuesta de flujo repetible. El aislamiento térmico del calentador y de las resistencias sensoras se consigue grabando el espacio de la cavidad bajo los puentes del sensor de flujo.