■FLuido:Gas N₂,Aire,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Max.flow rate:Gas 1 línea de 5SCCM a 10SLM / total 100SLM
■Accuracy:±1%F.S.
Controlador de flujo másico de alto rendimiento adoptado.
Modo de ajuste de ración de flujo de gas mezclado / modo de ajuste de proporción de gas mezclado conmutable.
Operación de programa con condiciones preestablecidas por modo de paso.
Función de servidor VNC para control remoto.
El estado de funcionamiento registrado en el registro de datos se puede extraer a través del puerto USB del dispositivo en la parte posterior.
Parada de emergencia, ajuste de límites superior e inferior, caudal totalizado, ajustes de autoridad, etc.
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