Obtenga información desde cualquier lugar de su entorno ultralimpio con este contador de partículas de condensación de 10 nm especialmente diseñado. Aumente el tiempo de actividad y mejore el rendimiento.
Punto marcado Supervise el interior de las herramientas de proceso de semiconductores con el factor de forma más pequeño del mercado
Punto marcado Supervisión ininterrumpida y sin mantenimiento durante 12 meses con mediciones continuas 24 horas al día, 7 días a la semana.
Punto destacado La mejor tasa de falsos recuentos de todos los CPC diseñados para la supervisión de entornos ultralimpios
Detalles del producto
Reduzca la contaminación y mejore el rendimiento donde más importa con nuestro revolucionario contador de partículas de condensación (CPC) NanoAir™ 10.
Monitorización de colectores disponible
Este es el único sistema de colector diseñado para soportar el transporte y la entrega de nanopartículas.
Un producto complementario de colector de 10 puertos (ParticleSeeker™) admite aplicaciones que requieren la monitorización de múltiples ubicaciones de muestras en secuencias secuenciales o programadas.
El sistema de manifold de 10 puertos permite cubrir todo un EFEM/ Minienvironment con un único CPC. Alcance una cobertura de 120 pies cuadrados con el sistema de colector.
El tiempo de puerto a puerto es de tan sólo 0,1 segundos, con una interferencia cruzada minimizada. El colector admite varios modos de funcionamiento para:
cualificación de herramientas
seguimiento de pistas / procesos
respuesta automatizada a eventos de fabricación integrados
seguimiento de obleas en herramientas de proceso
factor de forma un 83% más pequeño
Realice el seguimiento en cualquier lugar de su entorno limpio, incluido el interior de herramientas de proceso de semiconductores y módulos frontales de equipos (EFEM), ya que este CPC es un 83% más pequeño que los contadores de la competencia.
Fácil acceso a los datos
Visualice, analice y elabore informes sobre los datos rápidamente con nuestro software de monitorización de partículas FacilityNet
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