El contador de partículas por condensación (CPC) NanoAir™ 10 es un nuevo producto revolucionario de Particle Measuring Systems (PMS). Proporciona la sensibilidad de un CPC con la facilidad de uso y la funcionalidad de un contador de partículas de sala limpia tradicional. Diseñado para monitorizar entornos ultralimpios, ofrece una sensibilidad de detección de 10 nm a un caudal de muestra de 2,8 L/min (0,1 CFM).
El tamaño del NanoAir 10 es un 83% menor que el de los productos de la competencia, lo que lo hace práctico para su uso en cualquier lugar de entornos ultralimpios, incluido el interior de herramientas de proceso de semiconductores y módulos frontales de equipos (EFEM). El innovador diseño del sistema de manipulación del fluido de trabajo, pendiente de patente, es robusto y eficiente, lo que permite un funcionamiento continuo las 24 horas del día, los 365 días del año, sin necesidad de mantenimiento ni intervención del usuario de ningún tipo entre el rellenado y la calibración del fluido de trabajo requeridos anualmente. De este modo, se reducen las interrupciones en el muestreo y la recopilación de datos, así como el tiempo de inactividad de la herramienta.
Un producto complementario de colector de 10 puertos (ParticleSeeker™) admite aplicaciones que requieren la monitorización de varias ubicaciones de muestras en secuencias secuenciales o programadas.
Además, el NanoAir es compatible con gas de alta presión con el HPD-III de PMS, y los datos pueden visualizarse, analizarse y notificarse mediante el software de monitorización de instalaciones PMS Facility Net o transmitirse directamente a sistemas SCADA de terceros o entradas de herramientas de proceso.
Detalles del producto
El contador de partículas de condensación (CPC) NanoAir™ 10 es un nuevo y revolucionario producto de Particle Measuring Systems (PMS). Proporciona la sensibilidad de un CPC con la facilidad de uso y la funcionalidad de un contador de partículas de sala limpia tradicional. Diseñado para supervisar entornos ultralimpios,
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