Los procesos microelectrónicos de vanguardia requieren productos químicos de proceso muy limpios que estén altamente filtrados y regulados a un tamaño de partícula de 20 nm o inferior. Con una sensibilidad a las partículas de 20 nm, el contador de partículas químicas Chem 20 de Particle Measuring Systems (PMS) es compatible con la hoja de ruta internacional para dispositivos y sistemas (IRDS) y con una gran variedad de productos químicos.
Amplios datos sobre sistemas de distribución y envasado de productos químicos demuestran que el contador de partículas químicas Chem 20, con una sensibilidad de 20 nm, detecta mayores concentraciones de partículas con mejores estadísticas que los productos de la competencia. El contador de partículas químicas Chem 20 es una valiosa herramienta que permite a los ingenieros de instalaciones y procesos detectar y caracterizar rápidamente las fuentes de partículas químicas antes de que afecten al rendimiento del proceso y de los dispositivos.Compatible con la supervisión en línea y basada en muestras, el contador de partículas Chem 20 proporciona una supervisión flexible desde el control de calidad entrante hasta el punto de uso.
Características del producto
Superación de la dispersión de fondo
Seguridad láser
Detección de burbujas en el flujo de muestras
Gestión de la reducción del flujo de muestras
Detección de fugas
Obtención de datos estables y repetibles
Detalles del producto
Estamos cambiando la forma de supervisar los entornos críticos de fabricación.
Obtenga más información sobre la sensibilidad líder del sector para la supervisión de aire, gas, agua, productos químicos y contaminación molecular en el aire.
Todo desde un único lugar. Sólo en Particle Measuring Systems.
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