Los procesos de fabricación de alta tecnología suelen requerir gases de gran pureza. El contador de partículas de gas de pureza ultra alta HPGP 101-C proporciona una supervisión fiable de la contaminación en línea para gases de proceso a una presión de línea de hasta 150 psig. El HPGP es compatible con oxígeno, hidrógeno y la mayoría de gases no tóxicos y puede utilizarse en muchas aplicaciones de monitorización de gases reactivos. Acelera la cualificación de los sistemas de distribución de gases de proceso y detecta partículas en los gases antes de que afecten al rendimiento.
El HPGP está emparejado con el Sistema de Datos de Partículas, Ethernet (PDS-E) que recopila e informa de los datos capturados por el instrumento.
Obtenga más información sobre la compatibilidad de los contadores de partículas PMS con el gas comprimido en esta completa tabla comparativa.
Detalles del producto
Recipiente de contención de seguridad
Compatibilidad con oxígeno e hidrógeno
0.sensibilidad de 1 μm a 0,1 SCFM
Ocho canales de partículas
Presiones de línea de 40 a 150 psig
Cavidad láser pasiva
Sistema detector de matriz de procesamiento paralelo
Verifica la calidad del gas
Detecta alteraciones del proceso
Cuantifica el impacto de los cambios en el sistema
Proporciona un tamaño exacto de las partículas
Utiliza el software Facility Net para el almacenamiento integral de datos, gestión, informes y alarmas
El diseño de cavidad pasiva requiere un mantenimiento poco frecuente
La purga de gas inerte garantiza la seguridad
La fuga de gas de muestreo al recipiente interrumpe la alimentación de la electrónica
Cualificación de los sistemas de distribución de gas
Supervisión del gas de proceso
Control de gases reactivos
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