El RX3000 es un regulador de presión de diafragma libre de una etapa especialmente diseñado para aplicaciones de alta pureza y pureza ultra alta. Su diseño monoetapa proporciona una excelente estabilidad de caudal, y su diseño sin rosca garantiza el máximo nivel de pureza.
Principales ventajas
Exclusivo diseño sin rosca en todas las versiones para un mayor nivel de pureza
Efecto optimizado de la presión de suministro y excelente estabilidad del caudal
Duración de vida según CGA E4
Montaje, pruebas y embalaje en sala blanca Clase ISO 4
Número de serie individual para una trazabilidad completa
Superficie electropulida según SEMI F19 Grado UHP
Material UHP - opción Semi F20 disponible
Especificaciones
Rango de temperatura -20°C a +65°C (-4°F a +149°F)
Tipo de regulador Diafragma libre
Presión de rotura 300% de la presión de servicio
Presión de prueba 150% de la presión de servicio
Índice máximo certificado de fuga de helio en el interior (a presión máxima) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Índice de fuga de helio a través del asiento máximo certificado (a presión máxima) - ≤ 1 x 10-8 mbar.l/s
Índice máximo certificado de fuga de helio por el exterior ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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