Tester de espesor SK-FTM

de laboratorioautomáticocompacto

El monitor compacto de espesor de película es un medidor espectrofotométrico de espesor de película por reflexión que utiliza una pequeña sonda de reflexión y es aplicable en todas las situaciones, desde el nivel de laboratorio hasta la inspección en línea al 100% en el proceso de producción. Presenta una excelente capacidad de mantenimiento y puede utilizarse para su incorporación a equipos de proceso y gestión de líneas. Es posible la medición simultánea de hasta 9 tipos de películas transparentes. Puede utilizarse como monitor en línea o de punto final para los distintos procesos de películas multicapa. La sonda compacta puede instalarse en un espacio reducido dentro de la herramienta de proceso. También es posible juzgar la proporción de mezcla de la capa mixta o la cristalinidad del polisilicio utilizando la teoría EMA. Sonda compacta con fibra óptica puede instalarse en un espacio reducido dentro de la herramienta de proceso. Buena repetibilidad de la medición del espesor de la película 0,1 nm(3a) Medición del espesor de película multicapa de hasta 9 capas Función de análisis de materiales - Evaluación de la proporción de mezcla del material compuesto mediante EMA - Cristalinidad y análisisy de las constantes ópticas Inalámbrico(Opción) Software de detección del punto final del espesor de la película incluido Etapa de mapeo automático (opcional) Requisitos del sistema recomendados Temperatura ambiente - : 18 a 45 ℃ A largo plazo - : < ±2.0℃/24Horas Corto plazo - : < ±1,0℃/1Hora Humedad - : 45±20% (Sin condensación)