El monitor de espesor de película por imágenes es una herramienta de metrología que permite visualizar la distribución del espesor de una película multicapa transparente.
Puede visualizar la distribución del grosor de la película con una resolución de 0,1 nm mediante reflectometría espectroscópica.
Visualiza la uniformidad del grosor de la película
Mide el grosor/calidad de la película en el campo de visión del microscopio, Muestra la distribución en 3D
Resolución del espesor de la película : <0,1 nm
Buena resolución de espesor equivalente a las herramientas de espectrometría.
La longitud de onda puede seleccionarse entre 450 nm y 750 nm con una precisión de 1 nm.
Alta velocidad / Medición multicapa de hasta 9 capas
Procesamiento paralelo por la reflectometría espectroscópica
Aplicaciones avanzadas
① Película de varios cientos de repeticiones, como los filtros de interferencia de paso de banda, y película multicapa compuesta, como la estructura de trinchera
② Estimación de la densidad de patrones submicrónicos mediante la aproximación del medio efectivo (EMA)
③ Evaluación de la cristalinidad de zonas locales, como el recocido por láser
Medición de la distribución del espesor de la película en la región especificada del campo de visión Objetivo.
Medición del área de 6,6x8,8mm□ utilizando el objetivo 1x.
Medición de la resolución espacial de 0,5um utilizando el obj. 50x.
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