En la fabricación de semiconductores, hasta el más mínimo rastro de contaminación puede comprometer la calidad del producto. A medida que avanza la miniaturización de los semiconductores, la minimización de la contaminación orgánica a nivel de trazas se ha vuelto cada vez más crítica para mantener un alto índice de rendimiento del producto. En consecuencia, las normas de calidad del agua ultrapura utilizada en la fabricación de semiconductores son cada vez más estrictas. Especialmente en el proceso de fabricación de semiconductores de última generación, ha aumentado la necesidad de detectar urea y otros compuestos difíciles de oxidar. La detección de estos compuestos ha resultado difícil con las técnicas convencionales. El analizador de TOC en línea TOC-1000e S para agua ultrapura, que incorpora los comentarios de los fabricantes de semiconductores de vanguardia, se ha desarrollado para hacer frente a estos retos.
Shimadzu ha sido un proveedor de confianza de analizadores de TOC durante más de 50 años, estableciendo un legado como líder en instrumentos de TOC. Ahora, aprovechando estas décadas de experiencia y técnicas avanzadas, Shimadzu ofrece el analizador de COT en línea TOC-1000e S para agua ultrapura, diseñado específicamente para satisfacer los rigurosos requisitos del moderno proceso de fabricación de semiconductores.
Características
Sensibilidad de detección superior para compuestos difíciles de oxidar
Alta capacidad de oxidación con detección precisa de urea y otros compuestos difíciles de oxidar
En la fabricación de semiconductores se producen grandes volúmenes de agua ultrapura a partir de diversas fuentes de agua. Durante este proceso de purificación, las impurezas deben eliminarse en la mayor medida posible. La urea es especialmente difícil de eliminar debido a sus características de difícil oxidación.
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