Gran superficie circular de aluminio plana con una uniformidad de temperatura superior al 1 % en toda la superficie de calentamiento. Diseñado específicamente para trabajar con obleas de silicio de 12” (304,8 mm) de diámetro o más pequeñas y otras muestras en las que la precisión de la temperatura y la uniformidad de la superficie son imprescindibles.
Descripción
La placa de horneado programable WaferPlate™ de Torrey Pines Scientific es una placa calefactora digital completamente programable diseñada específicamente para hornear obleas de silicio. En la operación manual, simplemente configure una temperatura objetivo y la unidad irá y mantendrá esa temperatura exacta dentro de ± 1 °C. En el modo programable, las rutinas se pueden almacenar en la memoria para recuperarlas y usarlas al instante. La rutina almacenada se ejecutará automáticamente, y exactamente igual, una y otra vez.
Los programas pueden ser simples o complejos dependiendo de la necesidad. Se pueden almacenar múltiples temperaturas, tasas de aumento de temperatura si se desea y tiempos de permanencia. Estos programas se pueden escribir y almacenar en el control remoto provisto con la unidad, o los programas pueden ser tan simples o complejos como sea necesario cuando los escribe el usuario en una PC y los ejecuta esa PC a través del puerto de E/S RS-232 en la parte trasera del calentador.