Cámara climática

termostáticade temperaturade humedad

Aplicación
Hace circular aire limpio y controla la humedad para eliminar las variaciones ambientales del lugar de instalación en equipos que requieren estabilidad dimensional, precisión de posición y mediciones finas. Se ofrecen configuraciones personalizadas para adaptarse a los dispositivos internos y a las necesidades del cliente.

Puntos clave

• Limpieza: ISO clase 4 (clase 10).
• Precisión de control de temperatura de ±0,1 °C a ±0,005 °C.
• Diseño adaptable para alojar equipos integrados.
• Múltiples circuitos de protección para seguridad.
• Genera un entorno de alta limpieza y alta precisión de temperatura/humedad para prevenir la adhesión de partículas o gases y la expansión/contracción por cambios térmicos o higrométricos.
• Control de humedad: estándar 40–60 %RH; opción de baja humedad 5–40 %RH.
• Control PID, componentes ultraprécisos y sistema de flujo de aire diseñado para la precisión de temperatura; fluctuaciones de temperatura posibles entre 0,1 °C y 0,002 °C según configuración.

Normas y especificaciones
Tipo C (encapsulado)
• Ideal para instrumentos de medición de longitud y steppers.
• Compuesto por una unidad de climatización con control de humedad, soplador y filtros HEPA, y una cámara de trabajo.
• Opciones de cámara: obturadores automáticos (eléctricos o neumáticos), ventana de observación para verificar la manipulación de dispositivos internos, puertas de mantenimiento.
• Disponible en flujo laminar vertical (HEPA en el techo) y flujo laminar horizontal (HEPA en el lateral).

Tipo B (abierto)
• Para alineadores de proyección.
• Equipo tipo abierto que integra una unidad de climatización con control de temperatura en la parte trasera de una bancada limpia de flujo laminar vertical.
• Ocupa poca superficie y puede equiparse con ruedas para facilitar su movilidad.

Tipo S (separado)
• Adecuado para equipos de trazado por haz de electrones y equipos pequeños con caudal de procesamiento ≤50 m/min.
• La configuración por conductos separa la unidad de climatización de la cámara para aislar ruido, vibración e interferencias electromagnéticas.
• Posibilidad de operar los dispositivos internos desde el frente, ambos laterales y la parte trasera.
• También disponible en versión de circulación con toma y cámara conectadas por conducto.

Aplicaciones principales
Fabricación de semiconductores: steppers (exposición por reducción), alineadores, equipos de trazado por haz de electrones
Fabricación de paneles de visualización: LCD, pantallas plasma, FED
Procesado de precisión: pulidoras de espejo, máquinas láser, fresadoras para cabezas magnéticas, pulidoras de lentes de precisión, spin coaters para CD‑R/DVD‑R
Instrumentos de medición de precisión: equipos de medición de longitud de precisión, máquinas de medición 2D/3D
Biología: microscopios de precisión, manejo de muestras sensibles a variaciones de temperatura/humedad

Aspectos técnicos

• Limpieza: ISO clase 4 (clase 10)
• Precisión de temperatura: ±0,1 °C a ±0,005 °C (configurable hasta 0,1 °C–0,002 °C)
• Control de humedad: estándar 40–60 %RH; opción baja humedad 5–40 %RH
• Método de control: PID
• Climatización: mecanismo de control de humedad, soplador, filtros HEPA (flujo laminar vertical/horizontal)
• Tipos de configuración: C (encapsulado), B (abierto), S (separado)
• Seguridad: circuitos de protección múltiples
• Opciones de personalización: ventana de observación, obturador automático, puerta de mantenimiento, movilidad con ruedas