Microscopio SEM SU8600

emisión campode laboratorio3D

El SU8600 introduce una nueva era de microscopios electrónicos de barrido de emisión de campo frío de ultra alta resolución en la gama de microscopios electrónicos de Hitachi. Esta revolucionaria plataforma CFE-SEM incorpora imágenes multifacéticas, automatización, mayor estabilidad del sistema, flujos de trabajo eficientes para usuarios de todos los niveles de experiencia y mucho más. Ultraalta resolución La fuente de emisión de campo frío de alto brillo de Hitachi proporciona imágenes de resolución ultraalta incluso a voltajes ultrabajos. Un sistema de detección inteligente para imágenes de EEB de bajo voltaje Imagen de sección transversal de NAND 3D; La capa de óxido y la capa de nitruro del condensador se distinguen fácilmente en la imagen gracias a la capacidad de detección de BSE. Rápida obtención de imágenes BSE : Nuevo BSED de tipo cristal fuera de columna (OCD) Utilizando el nuevo BSED de tipo cristal fuera de columna (OCD)*, el tiempo de adquisición de la imagen fue inferior a UN SEGUNDO, aunque la interconexión de la capa inferior y la estructura Fin FET de la SRAM son claramente visibles. Experiencia de usuario mejorada con automatización avanzada La opción de software "EM Flow Creator" permite a los usuarios configurar secuencias de operaciones SEM repetibles. En la ventana del EM Flow Creator se pueden ensamblar varias funciones de SEM mediante un método de arrastrar y soltar y, a continuación, guardarlas como receta para su uso posterior. Una vez configurada la receta, la recogida automática de datos en las condiciones establecidas puede realizarse con gran precisión y repetibilidad. Interfaz flexible La configuración de doble monitor permite un espacio de trabajo flexible y altamente eficiente. Visualice y guarde 6 señales simultáneamente para adquirir más información en menos tiempo.