El sistema de plasma Yocto III se utiliza principalmente en los siguientes ámbitos: activación, limpieza
Configuración básica
Alimentación eléctrica: 230 V
Alimentación de gas
Gas de proceso mediante filtro
Caudal mediante válvula (no regulable)
Ventilación mediante filtro
Cámaras de vacío
Vidrio de borosilicato (UHP) circular con tapa (aprox. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Electrodos
Un par de electrodos fuera de la cámara de vacío
Controles
Generador de tensión para generar el plasma
Interruptor de 2 etapas
Botón de arranque
Interruptor de encendido
Generadores de tensión
Frecuencias: 100 kHz: potencia de 0-30 W
Bomba de vacío
Integrada en la carcasa
Sin aceite
Potencia de aspiración: 0,75 m3/h