Los sistemas de plasma Nano pueden combinarse en diferentes variantes, como en un sistema modular. A continuación, se ofrece una visión general de las opciones más habituales relacionadas con los sistemas de plasma Nano. Los sistemas de plasma Nano se utilizan principalmente en los siguientes ámbitos:
Análisis, arqueología, automoción, departamentos de investigación y desarrollo, tecnología de semiconductores, fabricación en series reducidas, tratamiento de plásticos, ingeniería médica, tecnología de microsistemas, sensores, esterilización, ingeniería textil
Configuración básica
Los tamaños de carcasa varían en función de los componentes/opciones.
Volumen de la cámara: dependiendo de la versión, 18-36 litros
Alimentación eléctrica: 230 V para equipo de mesa, 400 V/3 fases para equipo de suelo
Alimentación de gas
Válvulas de aguja
Controladores de flujo de masa (MFC)
Cámaras de vacío
Acero inoxidable circular con tapa (aprox. ∅ 267 mm, L 420 mm o L 600 mm)
Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagra (aprox. An 240 mm × Al 240 mm × P 420 mm o 600 mm)
Aluminio rectangular, puerta con bisagra (aprox. ∅ 240 mm × 240 mm, L 420 mm o L 600 mm)
Vidrio de cuarzo (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
Vidrio de borosilicato (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)