Los sistemas de plasma Pico pueden combinarse en diferentes variantes, como en un sistema modular. A continuación, se ofrece una visión general de las opciones más habituales relacionadas con los sistemas de plasma Pico. Los sistemas de plasma Pico se utilizan principalmente en los siguientes ámbitos:
Análisis (microscopio electrónico de barrido o de transmisión)
Arqueología
Automoción
Departamentos de investigación y desarrollo
Tecnología de semiconductores
Fabricación en series reducidas
Tratamiento de plásticos
Ingeniería médica
Tecnología de microsistemas
Sensores
Esterilización
Ingeniería textil
Configuración básica
Los tamaños de carcasa varían en función de los componentes/opciones.
Volumen de la cámara: dependiendo de la versión, 4-15 litros
Alimentación eléctrica: 230 V para equipo de mesa, 400 V/3 fases para equipo de suelo
Alimentación de gas
Válvulas de aguja
Controladores de flujo de masa (MFC)
Cámaras de vacío
Acero inoxidable circular con tapa (aprox. ∅ 150 mm, L 320 mm o L 600 mm)
Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagra (aprox. An 160 mm × Al 160 mm × P 325 mm o 600 mm)
Aluminio rectangular, puerta con bisagra (aprox. ∅ 160 mm × 160 mm, L 325 mm o L 600 mm)
Vidrio de cuarzo (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)
Vidrio de borosilicato (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 130 mm, L 300 mm o L 600 mm)