Los sistemas de plasma Femto pueden combinarse en diferentes variantes, como en un sistema modular. A continuación, se ofrece una visión general de las opciones más habituales relacionadas con los sistemas de plasma Femto. Los sistemas de plasma Femto se utilizan principalmente en los siguientes ámbitos:
Análisis, arqueología, automoción, departamentos de investigación y desarrollo, tecnología de semiconductores, fabricación en series reducidas, tratamiento de plásticos, ingeniería médica, tecnología de microsistemas, sensores, esterilización, ingeniería textil
Configuración básica
Las carcasas varían en función de los componentes/opciones.
Volumen de la cámara: dependiendo de la versión, 1,9-6 litros
Alimentación eléctrica: 230 V para equipos de mesa, 400 V/3 fases para equipos de suelo
Cámaras de vacío
Acero inoxidable circular con tapa (aprox. ∅ 100 mm, L 278 mm o L 600 mm)
Acero inoxidable rectangular, puerta con bisagra (aprox. An 103 × P 285 × Al 103)
Aluminio rectangular, puerta con bisagra (aprox. ∅ 103 mm × 103 mm, L 280 mm o L 600 mm)
Vidrio de cuarzo (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
Vidrio de borosilicato (UHP) circular con tapa o puerta con bisagra (aprox. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
Carga
Soporte de mercancías (opción: refrigerado por agua)
Botes de vidrio de cuarzo
Tambores giratorios para productos en polvo
Tambores giratorios para productos a granel
Chapa de aluminio
Chapa de acero inoxidable
Vidrio de borosilicato
Vidrio de cuarzo