El SU8600 marca el inicio de una nueva era de microscopios electrónicos de barrido de emisión de campo frío (CFE-SEM) de ultraalta resolución en la consolidada gama de microscopios electrónicos de Hitachi. Esta revolucionaria plataforma CFE-SEM incorpora funciones de imagen multifacéticas, automatización, mayor estabilidad del sistema, flujos de trabajo eficientes para usuarios de todos los niveles de experiencia y mucho más.
Características
Óptica electrónica y detectores
Tecnología principal (fuente de electrones de emisión de campo frío)
Desde que se desarrolló la fuente de electrones de emisión de campo frío (CFE) en 1972, Hitachi High Tech ha mejorado constantemente esta extraordinaria tecnología para la obtención de imágenes electrónicas de alta resolución. Los últimos avances en el diseño de los cañones de electrones proporcionan una mayor estabilidad de irradiación del haz de electrones en la región de alto brillo. El SU8600 permite obtener imágenes con una alta relación señal/ruido incluso a bajos voltajes de aceleración, y también puede utilizarse en mediciones y análisis a largo plazo en condiciones de irradiación de gran intensidad, rivalizando con otras tecnologías de cañones disponibles.
Tecnología básica (ExB)
Es posible detectar de forma eficiente los electrones secundarios (SE) sin alterar la trayectoria de los electrones primarios mediante la formación de un campo eléctrico y un campo magnético mutuamente ortogonales (campo ExB) por encima de la lente del objetivo. Esta tecnología clave permite obtener imágenes con una excelente relación señal/ruido y contraste, incluso en condiciones de corriente de sonda mínima, que suelen utilizarse para la obtención de imágenes de alta resolución.
Tecnología principal (SuperExB)
El avance en el diseño para implementar la función de mezcla de señales SuperExB es una de las tecnologías emblemáticas de Hitachi High-Tech. Los electrones (electrones secundarios, SE, o electrones retrodispersados, BSE)
---