Sistema de producción FlexAL

El sistema de deposición de capas atómicas (ALD) FlexAL ofrece una amplia gama de procesos ALD por plasma y ALD térmico optimizados de alta calidad con la máxima flexibilidad en precursores, gases de proceso y configuración de hardware dentro de una única cámara de proceso. Plasma remoto para ALD por plasma de bajo daño combinado con ALD térmico en una cámara de deposición Opción de electrodo polarizado por RF para controlar las propiedades de la película Manipulación de casete a casete estándar del sector para un mayor rendimiento Máxima flexibilidad en la elección de precursores, gases de proceso, características de hardware y opciones Optimizada para mantener sustratos de alta calidad y bajo nivel de daños Los revestimientos extraíbles facilitan el mantenimiento de la cámara Baja temperatura para permitir una deposición de alta calidad en superficies sensibles a la temperatura Vista general La familia de productos ALD abarca una gama de herramientas para satisfacer las variadas demandas del mundo académico, la I+D corporativa y la producción a pequeña escala. Oxford Instruments dispone de una amplia biblioteca de procesos, y continuamente se están desarrollando nuevos procesos. Proporcionamos soporte de proceso continuo y gratuito durante toda la vida útil de cualquier herramienta ALD, ofreciendo asesoramiento sobre el desarrollo de nuevos materiales y acceso continuo a nuestros últimos desarrollos de procesos ALD, incluyendo nuevas recetas de procesos. Los iones desempeñan un papel importante en los procesos de plasma ALD. Los iones pueden mejorar la calidad de la película, especialmente en el caso de los nitruros y a temperaturas de deposición más bajas. Sin embargo, algunas interfaces y sustratos pueden ser sensibles a los iones y provocar daños en los dispositivos. El sistema ALD FlexAL controla con precisión los iones de plasma con una fuente de plasma avanzada y una unidad de adaptación automática (AMU), lo que permite obtener el máximo beneficio del plasma al tiempo que se minimizan los daños.