Termostato para sala blanca Semistat S 1200

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Visión general
Termostato de proceso termoeléctrico para punto de uso diseñado para un control preciso de la temperatura en procesos de semiconductores y salas limpias. Reduce el consumo energético frente a sistemas con compresor y puede instalarse bajo el suelo en el punto de uso para minimizar el espacio en sala limpia. Controla los perfiles de temperatura del proceso a ±0,1 °C para mejorar la homogeneidad entre obleas.

Características

• Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo energético
• Funcionamiento silencioso y de bajas vibraciones gracias a la tecnología de refrigeración sin refrigerante
• No requiere filtros ni componentes DI
• Conexión para purga con aire seco limpio (CDA) para evitar condensación
• Uso de fluidos perfluorados
• Disponible en versión refrigerada por agua
• Tamaño compacto y peso reducido para instalación en punto de uso
• Volumen extremadamente bajo de fluido de transferencia de calor
• Compatible con las normas SEMI S2 y F47

Rango de trabajo

• Temperatura mínima de trabajo: −20 °C
• Temperatura máxima de trabajo: 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K

Capacidad de refrigeración (ejemplos)
Temperatura — Capacidad de refrigeración 50 Hz — Capacidad de refrigeración 60 Hz
20 °C — 1,2 kW — 1,2 kW
10 °C — 0,9 kW — 0,9 kW
0 °C — 0,6 kW — 0,6 kW
−10 °C — 0,35 kW — 0,35 kW
−20 °C — 0,08 kW — 0,08 kW

Datos técnicos (según DIN 12876)

• Rango de temperatura de trabajo: −20 ... 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K
• Potencia mínima de calentador: 3 kW
• Volumen mínimo de llenado: 1 L
• Volumen máximo de llenado: 1,3 L
• Dimensiones (AnxPxAl): 116 x 232 x 470 mm
• Peso: 15 kg
• Alimentación: conexión a PSC