Termostato de proceso Semistat S 2400

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Descripción del producto
Sistema de control de temperatura punto de uso (POU) diseñado para la gestión precisa de la temperatura de proceso en entornos de semiconductores y laboratorio. La operación POU puede reducir el consumo energético hasta en un 90 % frente a sistemas con compresor y permite una instalación compacta cerca del proceso, incluyendo montaje bajo suelo para minimizar la ocupación en sala limpia. Control rápido y estable a ±0,1 °C que mejora la homogeneidad entre obleas y la repetibilidad del proceso.

Características

• Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo energético
• Funcionamiento silencioso y con bajas vibraciones mediante tecnología de refrigeración sin refrigerante
• No requiere filtros ni componentes DI en el circuito de refrigeración
• Conexión de purga para aire seco limpio (CDA) para evitar condensación
• Diseñado para el uso de fluidos perfluorados
• Sistema refrigerado por agua para un rendimiento térmico estable
• Tamaño compacto y bajo peso
• Volumen interno del fluido caloportador extremadamente bajo
• Cumple las normas SEMI S2 y F47

Rango de trabajo

• Temperatura mínima de trabajo: -20 °C
• Temperatura máxima de trabajo: 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K

Capacidad de refrigeración (tabla)
Temperatura | Capacidad de refrigeración 50 Hz | Capacidad de refrigeración 60 Hz
20 °C | 2,45 kW | 2,45 kW
10 °C | 1,93 kW | 1,93 kW
0 °C | 1,4 kW | 1,4 kW
-10 °C | 0,88 kW | 0,88 kW
-20 °C | 0,35 kW | 0,35 kW

Accesorios (ejemplos)

• Envase de llenado

Especificaciones técnicas

• Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K
• Potencia de calentador min.: 6 kW
• Volumen de llenado min.: 1,25 L
• Volumen de llenado max.: 1,6 L
• Dimensiones (AnxProfxAlt): 116 x 300 x 560 mm
• Peso: 27 kg
• Peso neto: 26,81 kg
• Alimentación: conexión a PSC