Termostato para sala blanca Semistat S 4400
de procesocompactosin visualizador

Termostato para sala blanca - Semistat S 4400 - LAUDA - de proceso / compacto / sin visualizador
Termostato para sala blanca - Semistat S 4400 - LAUDA - de proceso / compacto / sin visualizador
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Características

Ámbito de utilización
de proceso, para sala blanca
Configuración
compacto
Visualización
sin visualizador
Otras características
calefactor, de refrigeración, de circulación
Intervalo de temperaturas

Mín.: -20 °C
(-4 °F)

Máx.: 90 °C
(194 °F)

Descripción

Descripción del producto
Termostato de proceso termoeléctrico punto de uso (POU) para el control preciso de las temperaturas de proceso en aplicaciones de semiconductores y salas blancas. Reduce el consumo de energía hasta un 90 % frente a sistemas con compresor. Tamaño compacto con opción de instalación empotrada bajo pavimento para minimizar la ocupación de la sala limpia. Control de temperatura preciso a ±0.1 °C para mejorar la homogeneidad wafer a wafer.

Características
  • Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo de energía
  • Funcionamiento silencioso y baja vibración por tecnología de refrigeración sin refrigerante
  • No requiere filtros ni componentes DI
  • Conexión para purga con aire seco y limpio (CDA) para prevenir condensación
  • Uso de fluidos perfluorados
  • Variante con refrigeración por agua disponible
  • Tamaño compacto y bajo peso
  • Volumen de fluido térmico extremadamente bajo
  • Cumple SEMI S2 y F47


Rango de trabajo
  • Temperatura mínima de trabajo: -20 °C
  • Temperatura máxima de trabajo: 90 °C
  • Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K


Datos técnicos (según DIN 12876)
  • Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
  • Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K
  • Potencia de calentamiento (min.): 12 kW
  • Volumen de llenado mín.: 2.5 L
  • Volumen de llenado máx.: 2.8 L
  • Dimensiones (AnxPxAl): 194 x 300 x 560 mm
  • Peso: 38 kg
  • Alimentación: Conexión a PSC
  • Tecnología de refrigeración: termoeléctrica / sin refrigerante (variante agua disponible)
  • Conformidad: SEMI S2 y F47


Capacidad de refrigeración
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)

Descargas (documentos disponibles)
Ficha técnica Semistat S 4400
Manual de instrucciones Semistat (Point of Use)
Folleto: Semistat / Circulation and process thermostats

Especificaciones técnicas
  • Nombre comercial / modelo: Semistat S 4400
  • N.º de pieza: L003278
  • Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
  • Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K
  • Potencia de calentamiento (min.): 12 kW
  • Volumen de llenado (min./máx.): 2.5 L / 2.8 L
  • Dimensiones (AnxPxAl): 194 x 300 x 560 mm
  • Peso: 38 kg
  • Tecnología de refrigeración: termoeléctrica / sin refrigerante (variante con agua)
  • Conformidad: SEMI S2 y F47

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.