Descripción del productoTermostato de proceso termoeléctrico punto de uso (POU) para el control preciso de las temperaturas de proceso en aplicaciones de semiconductores y salas blancas. Reduce el consumo de energía hasta un 90 % frente a sistemas con compresor. Tamaño compacto con opción de instalación empotrada bajo pavimento para minimizar la ocupación de la sala limpia. Control de temperatura preciso a ±0.1 °C para mejorar la homogeneidad wafer a wafer.
Características- Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo de energía
- Funcionamiento silencioso y baja vibración por tecnología de refrigeración sin refrigerante
- No requiere filtros ni componentes DI
- Conexión para purga con aire seco y limpio (CDA) para prevenir condensación
- Uso de fluidos perfluorados
- Variante con refrigeración por agua disponible
- Tamaño compacto y bajo peso
- Volumen de fluido térmico extremadamente bajo
- Cumple SEMI S2 y F47
Rango de trabajo- Temperatura mínima de trabajo: -20 °C
- Temperatura máxima de trabajo: 90 °C
- Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K
Datos técnicos (según DIN 12876)- Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
- Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K
- Potencia de calentamiento (min.): 12 kW
- Volumen de llenado mín.: 2.5 L
- Volumen de llenado máx.: 2.8 L
- Dimensiones (AnxPxAl): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Alimentación: Conexión a PSC
- Tecnología de refrigeración: termoeléctrica / sin refrigerante (variante agua disponible)
- Conformidad: SEMI S2 y F47
Capacidad de refrigeración20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Descargas (documentos disponibles)Ficha técnica Semistat S 4400
Manual de instrucciones Semistat (Point of Use)
Folleto: Semistat / Circulation and process thermostats
Especificaciones técnicas- Nombre comercial / modelo: Semistat S 4400
- N.º de pieza: L003278
- Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
- Estabilidad de la temperatura: 0.1 ± K
- Potencia de calentamiento (min.): 12 kW
- Volumen de llenado (min./máx.): 2.5 L / 2.8 L
- Dimensiones (AnxPxAl): 194 x 300 x 560 mm
- Peso: 38 kg
- Tecnología de refrigeración: termoeléctrica / sin refrigerante (variante con agua)
- Conformidad: SEMI S2 y F47